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超純水設備助力半導體元器件高質量生產

  在現代電子產業蓬勃發展的浪潮中,電子元器件作為核心基礎零部件,占據著戰略性新興產業發展的關鍵地位,是支撐各類新興產業前行的重要基石。近年來,電子元器件產業發展勢頭極為迅猛,產業規模持續擴張的同時,質量效益也顯著提升,為經濟發展注入源源不斷的強勁動力。

  電子元器件產業鏈的上游涵蓋多種重要原材料,像光電材料、半導體材料、磁性材料等。在半導體生產環節,超純水的身影無處不在,從晶圓沖洗、化學稀釋,到化工機械研磨,再到潔凈室環境的加濕等眾多場景,都離不開超純水的參與。超純水的質量優劣,直接與半導體的良品率掛鉤,對半導體元器件的生產質量起著決定性作用。以超純水設備為例,其采用獨特的靶向離子交換系統,能夠有效去除超純水中的硼離子,使硼離子含量維持在極低水平,同時還能持續穩定地產出高純度超純水。憑借出色性能,該設備在晶圓、電子芯片、集成電路、精密儀器、電鍍、試劑稀釋、氟化工等多個領域得到廣泛應用。

  超純水設備融合了反滲透系統、EDI 裝置以及拋光混床工藝,能近乎完全去除水中的導電介質,同時將水中的膠體物質、氣體及有機物降低到極低含量。設備的 EDI 處理裝置產生的廢水較少,對環境友好,具備較高的環境效益和經濟效益。經過技術升級的精混床,運行更加穩定,無需復雜操作就能確保出水水質符合芯片生產用水標準,為企業有效降低生產成本。

  超純水設備產出的超純水,滿足 ASTM D5127 - 13 中 E1.3 水質指標,完全契合半導體元器件生產的用水需求。憑借持續穩定制備高品質超純水的能力,超純水設備有力推動半導體企業的發展,助力企業在激烈的市場競爭中脫穎而出,提升市場競爭力。

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