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隨著半導體技術的快速發展，芯片制造對水質的要求越來越高。超純水(UPW)是芯片制造過程中不可或缺的關鍵資源之一，其純凈度直接影響到芯片的質量和性能。本文將詳細介紹采用反滲透、EDI裝置結合混床模塊化設計工藝制備的超純水設備在芯片制造中的應用及其諸多優勢。
超純水設備
超純水設備的核心工藝
反滲透(RO)：反滲透膜是一種半透膜，能夠有效去除水中的溶解鹽、有機物、膠體、細菌和病毒等雜質。反滲透技術通過高壓將水分子從濃溶液一側推送到稀溶液一側，實現高效的凈化。
電去離子(EDI)：電去離子技術通過電解作用去除水中的離子，進一步提高水質的純凈度。EDI系統通常與反滲透系統結合使用，以達到更高的純度標準。
拋光混床模塊化設計：混床是一種由陽離子交換樹脂和陰離子交換樹脂混合組成的離子交換裝置。它能夠進一步去除水中的微量離子，確保出水的高純凈度。拋光混床模塊化設計便于維護和更換，提高了系統的可靠性和靈活性。
超純水設備的優勢
1.高純凈度：采用反滲透、EDI裝置結合拋光混床模塊化設計工藝，超純水設備可以制備出電阻率高達18 MΩ*cm(25℃)的超純水，完全符合芯片制造的高純凈度要求。
2.環保：優化的水處理工藝減少了廢水排放量，提高了水資源的利用率;能量回收裝置將廢水中的熱能進行回收再利用，降低了能耗，符合可持續發展的理念。
3.經濟：模塊化設計便于維護和更換，降低了運行成本；自動化控制系統減少了人工干預，提高了生產效率，降低了運營成本。
隨著半導體技術的不斷發展，對水質的要求也越來越高。超純水設備憑借其高效、可靠的性能，將在未來繼續發揮重要作用，為芯片制造提供強有力的支持。
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編輯：虞美人 技術：木子
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